[15a-K507-1~8] 7.2 電子ビーム応用

9:30 〜 9:45

[15a-K507-3] 走査電子顕微鏡での電子ビームサイズ推定におけるエッジ効果補正

〇早田 康成¹、戸倉 大智¹、曽雌 侑輝¹ (1.筑波大学数理)

キーワード：

走査電子顕微鏡、ビームサイズ、エッジ効果

走査電子顕微鏡の基本的な特性の１つに電子ビームサイズが挙げられる。電子ビームサイズの推定に像シャープネス（DR値）を活用することとし、DR値からの電子ビームサイズの推定方法を提案する。DR値を求めるために用いるパターンエッジの２次電子プロファイルには、エッジ効果の影響が含まれる。電子散乱シミュレーションにより予測したエッジ効果を用いてプロファイルを補正することで、実際の電子ビームサイズを推定する。