[15a-K507-1~8] 7.2 電子ビーム応用

10:30 〜 10:45

[15a-K507-6] 低真空SEMの二次電子検出器（UVDとET検出器の比較）

〇姚 遠昭¹、園田 涼輔¹、早田 康成¹、関口 隆史¹ (1.筑波大学数理)

キーワード：

二次電子、低真空、走査電子顕微鏡