講演情報
[15a-K507-7]MCPを用いたSEMの反射電子検出器
〇柳原 悠人1、姚 遠昭2、山本 隼大2、関口 隆史2 (1.光産業創成大学院大学、2.筑波大数理)
キーワード：
マイクロチャンネルプレート、反射電子
マイクロチャンネルプレート(MCP)を走査型電子顕微鏡(SEM)の検出器に使用して3keV以下の反射電子像取得を試みた。MCP検出器はハイパスフィルターを備え、これによって二次電子を除去することが可能。MCP検出器でSEM像を取得したところ、二次電子と反射電子の両方の情報が含まれていることを確認。更にハイパスフィルターを使用して二次電子を除去し、低エネルギー反射電子像を得ることに成功した。