講演情報
[15a-P02-27]3分割電極パターニングによる自己励振/自己変位検知フィルムの評価
〇松崎 健太1、紫加田 京瑚2、日高 芳樹1、岡部 弘高1、小柴 康子2、堀家 匠平2,3、神野 伊策2、石田 謙司1,2 (1.九大院工、2.神大院工、3.神大環境セ)
キーワード：
自己励振/自己変位検知、圧電
我々はバイモルフ構造を用いた自己励振/自己変位検知フィルムの作成と評価を行い、共振点以外の周波数帯で自己変位検知に成功した。しかし共振周波数帯では変位検知に成功しなかったため、電極パターニングによって変位量の寄与が大きい根元に限定することで、自己変位検知を試みた。