講演情報
[15a-P05-25]パリレンで被覆したイオン液体ゲートグラフェン電界効果トランジスタを用いた硝酸態窒素ガスセンシング
〇(M2)今泉 陵1、白石 直規2、魯 健3、木村 睦1 (1.信大繊維、2.農研機構、3.産総研)
キーワード：
イオン液体ゲートグラフェン電界効果トランジスタ、パリレンC
グラフェン電界効果トランジスタ(GFET)にイオン液体を複合したイオン液体ゲートGFET(ILGFET)では、低電圧での駆動が可能でグラフェンへの低濃度のガス吸着をピーク電圧値の変化によって高感度に追跡できる。またパリレンCは化学気相成長法により液体表面に成膜でき、遮蔽機能が期待される。本研究ではILGFETにパリレンCを成膜したセンサーを報告する。