講演情報
[15p-K203-3]放射光を利用した低温・低損傷の表面改質
〇神田 一浩1 (1.兵県大高度研)
キーワード：
表面改質、放射光
軟X線放射光を用いた表面改質は，反応断面積の大きい内殻電子励起を用いることで，結合の切断，イオン化を高い効率で生じさせることができ，低温・低損傷のプロセスと知られており，放射光励起プロセスを表面処理手段に利用することで，ユニークな機能性表面の創製が可能である。基板温度設定のみでポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の表面ぬれ性を制御した研究例など，軟X線放射光を用いた表面改質の研究例を紹介する。