2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：グリーンファブの未来を拓く：持続可能なものづくりへの挑戦

[15p-K206-1~12]グリーンファブの未来を拓く：持続可能なものづくりへの挑戦

2025年3月15日(土) 13:30 〜 18:45
K206 (講義棟)
13:30 〜 13:40

[15p-K206-1]オープニングアドレス／グリーンファブの未来を拓く

〇中川 真一1 (1.SCREEN)
13:40 〜 14:20

[15p-K206-2]キオクシアのファブグリーン化に向けた取り組み

〇谷本 樹里1 (1.キオクシア株式会社)
14:20 〜 15:00

[15p-K206-3]サステナブルな世界に向けて non-PFASバイオマスEUVレジスト

〇森田 和代1、芳倉 佑樹1、須永 春海1 (1.王子ホールディングス)
15:00 〜 15:15

[15p-K206-4]膜分離技術による有機排水の削減

〇山本 勝哉1、上田 悠介1、南 翔耀1、植村 知浩1、吉田 幸史2、岩尾 通矩2 (1.株式会社SCREENホールディングス、2.株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ)
15:15 〜 15:30

[15p-K206-5]DHF を用いた窒化膜のウェットエッチングプロセスにおける データドリブンな予測モデル

〇(M1)柴田 行輝1、太田 喬2、安藤 幸嗣2、三澤 奈央子1、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.SCREEN SPE)
15:30 〜 16:10

[15p-K206-6]循環型社会を目指して：PFASリサイクルへの挑戦

〇清原 公平1、渋川 潤1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
16:25 〜 17:05

[15p-K206-7]製造業におけるエネルギーストレージ導入と自家発再エネ利用拡大への挑戦

〇小久保 利記1 (1.武蔵精密工業株式会社)
17:05 〜 17:20奨励賞エントリー

[15p-K206-8]半導体製造デジタルツインモデルに向けた中間変数を利用する複数工程モデルでのケーススタディ

〇岡地 涼輔1、臼井 正則1、森 朋彦1、村松 潤哉1、桑原 誠1、菊田 大悟1 (1.豊田中研)
17:20 〜 17:35

[15p-K206-9]プロセスフロー作成ツールの開発

〇林 慶知1、高橋 英樹1、佐藤 政司1、土屋 智由1 (1.京大)
17:35 〜 17:50奨励賞エントリー注目講演

[15p-K206-10]ウェットエッチングプロセスにおける少サンプル下でのレシピ作成および検証を行うAIシステム

〇(M1)柴田 行輝1、堀口 博司2、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.SCREEN SPE)
17:50 〜 18:30

[15p-K206-11]欧米に見るテクノロジー志向成長戦略とグリーン政策の競合と調和

〇真白 すぴか1,2,3,4 (1.IRDS FI、2.SEMI PFASｲﾆｼｱﾃｨﾌﾞ、3.セミジャパン国際法規制適合委員会、4.東京エレクトロン)
18:30 〜 18:45

[15p-K206-12]グリーンファブの未来を拓く：持続可能なものづくりへの挑戦

〇青野 真士1 (1.Amoeba Energy)
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