講演情報
[15p-K206-6]循環型社会を目指して：PFASリサイクルへの挑戦
〇清原 公平1、渋川 潤1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
キーワード：
半導体製造装置、ピーファス、リサイクル
当社は半導体製造装置のグローバルメーカーです。当社はサステナビリティ戦略を中期経営計画に盛り込み、積極的に活動を行っています。その活動の一つとして、製品やパーツの再資源化による環境負荷低減への対応を始めています。本講演では、近年注目されているPFASや、PFASを取り巻く各国の規制動向、半導体製造装置内におけるPFAS部品の使用例、さらにはPFAS部品のリサイクルに関する現状の取組みについてご紹介いたします。