講演情報
[15p-K210-5]LiNbO3薄板/高抵抗SiC構造におけるA1モード板波共振特性の解析
〇渡邉 紀之1、垣尾 省司1 (1.山梨大学)
キーワード：
LiNbO3、板波
Beyond-5G/6Gの次世代通信システムでは，RFフィルタとして，高周波，広帯域，高Qを有し，かつ耐高電力な弾性波デバイスが要求される．近年，接合技術および薄板化技術の進歩を踏まえ，薄板構造の様々な板波モードが研究され，その中でも高音速板波の利用が報告されている．しかし圧電基板の極薄板は非常に脆く製造上も耐久性も実用的ではない．そこで本報告では，先報告に続き，新たに高音速弾性波を利用するためLiNbO3 (LN)と高抵抗SiC(HR-SiC)との直接接合構造における高音速板波共振特性を検討した．