[15p-K210-1~12] 1.6 超音波

14:45 〜 15:00

[15p-K210-6] 20-90 MHz帯域幅のScAlN厚膜平凹レンズトランスデューサ

〇頼 展域^1,2、島野 耀康^1,2、遠藤 樹^1,2、賈 軍軍¹、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大先進理工、2.材料技術研究所)

キーワード：

ScAlN、レンズ、トランスデューサ

RFマグネトロンスパッタリング法を用いて合成石英ガラス平凹レンズ上にScAlN厚膜を成膜し、集束型超音波トランスデューサ(Au/ScAlN/Ti)を作製した。共振周波数比法によってScAlN層のk_t²は24%と推定された。トランスデューサの性能評価では、水媒質に音波を伝搬させる実験を行い、20-90 MHzの帯域での音波の送受波を確認した。