2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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17:45 〜 18:00
[15p-K301-8]
Te系コンタクトを用いたTMDC MOSFETsにおける電気的特性の熱安定性評価
〇張 文馨
1
、畑山 祥吾
1
、齊藤 雄太
1,2
、岡田 直也
1
、遠藤 尚彦
3
、宮田 耕充
3
、入沢 寿史
1
(1.産総研SFRC、2.東北大、3.都立大)
キーワード:
TMDC、MOSFET、熱安定性
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