講演情報

[15p-K301-8]Te系コンタクトを用いたTMDC MOSFETsにおける電気的特性の熱安定性評価

〇張 文馨1、畑山 祥吾1、齊藤 雄太1,2、岡田 直也1、遠藤 尚彦3、宮田 耕充3、入沢 寿史1 (1.産総研SFRC、2.東北大、3.都立大)

キーワード:

TMDC、MOSFET、熱安定性