講演情報
[15p-K304-10]ECB液晶素子を用いた瞳分割偏光カメラによるナノ段差の観察
〇筒井 宣匡1,2、吉木 啓介1、池上 浩1 (1.高知工大総研 D-Future、2.株式会社デンケン)
キーワード：
瞳分割偏光技術、ナノ表面形状測定、液晶素子
本研究では，瞳分割偏光計測装置にECB液晶素子を組み込み，電気的に瞳分割パターンを制御することで，同軸照明光学系を維持しながら，選択した方向のナノ段差を高速に抽出可能とした．実験ではガラス基板上のAl薄膜パターンを観察し，全ての方位の段差はもとより，特定方向の段差を切替観察できることを示した．本手法はコストを抑えつつ，複数の観察モードを柔軟に実現する点が特徴で，高速・高精度段差検査への応用が期待できる．