[15p-K310-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

15:15 〜 15:30

[15p-K310-6] Si(001)基板上Si_1−xSn_xエピタキシャル成長に堆積速度が及ぼす影響

〇伊藤 創生¹、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、黒澤 昌志¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：

シリコンスズ、SiSn、スパッタリング