[15p-K501-1~12] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

13:45 〜 14:00

[15p-K501-4] 時間領域サーモリフレクタンス法を用いたフィラーの熱伝導率測定法の開発

〇伊藤 蒼太朗¹、キム ビョンギ^1,2、柳澤 亮人¹、Jalabert Laurent^1,3、Ikzibane Hafsa¹、野村 政宏^1,3 (1.東大生研、2.科学大、3.LIMMS CNRS)

キーワード：

熱界面材料、熱伝導測定、熱マネジメント

酸化アルミニウム微小球の無加工単体での計測を行った。直径が10 µm以下となる微小アルミナ球はサイズと形状から無加工・単体での計測法が確立されていない。我々は、µ-TDTR法とFEMシミュレーションの組み合わせにより、5.3 µmのアルミナ球の熱伝導率として、バルク材とほぼ同じ28 Wm^-1K^-1を得た。この測定法は半導体デバイスの放熱技術開発の促進、および新規材料の開発に役立つと確信している。