[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

13:45 〜 14:00奨励賞エントリー注目講演

[15p-K503-4] 光で大きく速く繰り返し変形するBiFeO₃自立膜

〇(M1C)三津谷 怜¹、周 瑋琨¹、田口 敦清²、太田 裕道²、片山 司^2,3 (1.北大院情報、2.北大電子研、3.JST さきがけ)

キーワード：

半導体、光アクチュエータ

BiFeO₃は室温マルチフェロイック材料として広く研究されている。また、BiFeO₃薄膜を基板から剥離することで柔軟な自立膜を得ることも可能である。近年我々は強誘電BaTiO₃自立膜を紫外光照射で変形させられることを報告したが、その変位量はシート長の5％程に限られていた。本研究ではBiFeO₃自立膜への緑色光照射でシート長の60％になる1.8mmの大きな変位を得ることに成功したので報告する。