[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

15:00 〜 15:15

[15p-K503-8] ナノ粒子分散液を用いたチタン酸バリウムのインクジェット描画

〇山口 正樹¹、雪村 歩夢¹、中島 世龍¹、山本 孝² (1.芝浦工大、2.大阪公大)

キーワード：

強誘電体、ナノ粒子、インクジェット成膜

微粒子分散インクを用いたインクジェット成膜は，高い原料使用効率をもち，また自己組織化による粒子配向が期待される．本研究では，水熱合成法により作成したチタン酸バリウム単結晶ナノ粒子を用い，Si基板上へのパターン描画を行った．描画パターンは基板温度に大きく依存して変化し，また基板上の微粒子は，一定方向に自然と揃うことが確認された．