[15p-K507-1~8] 7.2 電子ビーム応用

13:00 〜 13:15

[15p-K507-1] 球面電子源のクーロン効果シミュレーションにおける仕事関数依存性

〇早田 康成¹、姫田 幸毅¹ (1.筑波大学数理)

キーワード：

電子源、クーロン効果、シミュレーション

走査電子顕微鏡に用いられる電子源の基本的な性能は換算輝度とエネルギー分散で代表される。本研究では高換算輝度が期待できる球面電子源を対象として、クーロン効果が電子源の特性に及ぼす影響をシミュレーションにより検討した。電子源の仕事関数の依存性を調べたところ、仕事関数を大きくすることで、飽和換算輝度を高く出来ることが分かった。電子源の引き出し電圧が高くなることが原因と考えられる。