講演情報
[15p-K507-5]TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの加熱およびエージング処理前後の放出電流評価
〇川崎 祐輔1、村田 英一1、村田 博雅2、長尾 昌善2 (1.名城大理工、2.産総研)
キーワード：
フィールドエミッタアレイ、マルチエミッタ評価装置、TiNコーティング
前回の応用物理学会では、反応性スパッタによりSiエミッタにTiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイ（以下FEA）[1]を用いてエージング処理前後での各tipの放出電流値の変化について報告した[2]。今回は、エージング（long time DC drive）および加熱処理により、そのTiNコーティングされたFEAの各tipの放出電流の均一性がどのように変化するかについて、観察および計測を行ったので報告する。