講演情報
[15p-K507-6]ドライエッチングによりエミッタ先端を露出した窒化ハフニウムフィールドエミッタアレイの電子放出特性
〇大住 知暉1,2、村田 博雅2、長尾 昌善2、後藤 康仁1 (1.京大院工、2.産総研)
キーワード：
窒化ハフニウム、フィールドエミッタアレイ、ドライエッチング
窒化ハフニウム(HfN)フィールドエミッタアレイ(FEA)をドライエッチングによりエミッタ先端を露出させることで試作した。試作したHfN-FEAの先端を走査型電子顕微鏡により観察し、エミッタ先端のHfNが失われれていないものと考えることができた。また、HfN-FEAが電子放出することを確認した。HfN-FEAの放出電流が安定になるまで連続動作を行うためには、絶縁層をできる限りエッチングすることが必要であると考えられる。