[15p-K509-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

14:45 〜 15:00

[15p-K509-6] セルオートマトン法ドリフト速度計算－異方性と角度分割

〇福田 浩一¹、服部 淳一¹ (1.産総研 SFRC)

キーワード：

半導体、ドリフト速度、セルオートマトン法

二次元電子ガスのドリフト速度計算にセルオートマトン法を適用するには、伝導面での有効質量の異方性を考慮する必要がある。波数空間メッシュに極座標系を用い、角度分割数がドリフト速度の計算結果に与える影響を検討した。