講演情報
[15p-K509-7]積層したナノシートトランジスタのTCADシミュレーション解析
〇LIU YICHENG1、LIM JIN HYONG1、田中 一1、森 伸也1 (1.阪大院工)
キーワード：
ナノシート、TCADデバイスシミュレーション、デバイス構造依存性
積層したナノシート電界効果トランジスタ（NSFET）が注目を集めている．本研究では，非平 衡グリーン関数（NEGF）法による単層NSFETのシミュレーション結果にキャリブレートした ドリフト拡散（DD）TCADシミュレータ（HyENEXSSおよびAdvance/TCAD）を用いて， 積層型NSFETの電気的特性のデバイス構造依存性を調べた．