講演情報
[15p-P05-55]ナノシート薄膜トンネル接合によるホットキャリア形成とメタン活性化
〇(M1)小西 理久1、野内 亮1 (1.大阪公立大工)
キーワード：
ホットキャリア、トンネル接合、RuO2ナノシート
近年、ホットキャリアを用いた反応低温化が注目されており、その形成手法の一つにトンネル接合への電圧印加がある。このような系として走査型トンネル顕微鏡探針による表面反応の誘起が報告されているが、局所的なものにとどまっている。本研究では薄膜素子化により大面積化した接合を用い、ホットキャリア減衰を最小化するために原子層物質であるRuO2ナノシートを用いることで、メタン解離反応の誘起に成功した。