講演情報

[15p-P11-2]InP/Si基板上歪量子井戸構造の光学特性評価

〇(B)ホルト 瑞樹1 (1.上智大理)

キーワード:

半導体

InP薄膜とSi基板の貼付時に発生するボイドの影響を考慮した、フォトルミネッセンス(PL)測定による歪量子井戸構造の光学特性。