講演情報
[15p-P12-10]ラマン分光を用いた電流スイッチングに伴う β-Ga2O3ショットキーバリアダイオードの温度変化
〇古本 航1、長谷川 将2、佐々木 公平2、一色 俊之1、蓮池 紀幸1 (1.京工繊大、2.(株)ノベルクリスタルテクノロジー)
キーワード：
ラマン分光、酸化ガリウムショットキーバリアダイオード
酸化ガリウム(β-Ga2O3)はその優れた材料物性と大型単結晶の作製容易性から次世代のパワーデバイス用半導体材料として大いに期待されている．しかし，熱伝導率が小さいため放熱性に課題がある．ここ数年β-Ga2O3ショットキーバリアダイオード(SBD)の開発が急速に進んでおり，デバイス構造が比較的単純であることから縦型β-Ga2O3 SBDはSiC同様，実用化が期待されている．本研究ではβ-Ga2O3SBDに着目し，ラマン散乱分光法を用いて電流スイッチング時の温度変化を調べた.