[15p-P12-1~40] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[15p-P12-27] ZrドープZnO薄膜のアニーリングによる透明導電性の改善

〇(M1)松本 幸祐¹、鷹野 一朗¹ (1.工学院大院)

キーワード：

透明導電膜、半導体、酸化亜鉛

透明で高い導電率を持つ酸化物は、幅広い分野で使用されており、透明電極材料として不可欠な物質となっている。現在、透明導電膜として多用されている材料は、ITOが主流となっているが、Inはレアメタルであり供給が不安定であるため代替品の研究が盛んに行われている。本研究では、ZnOをベースとして、ZnOと同様の結晶構造及び電気陰性度を持つZrをドープした。さらにアニーリングすることで、透明導電膜としての特性評価を行った。