[15p-P12-1~40] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[15p-P12-4] β-Ga₂O₃ (001) エピタキシャル基板における Arrowhead 型エッチピットに対応する結晶欠陥解析

〇寺田 文軌¹、蓮池 紀幸¹、一色 俊之¹、小林 健二²、藤谷 武史²、石川 由加里³、姚 永昭^3,4 (1.京都工繊大、2.(株)日立ハイテク、3.(一財)ファインセラミックスセンター、4.三重大)

キーワード：

酸化ガリウム、結晶欠陥、エッチピット