講演情報
[15p-P12-40]誘導結合放電によるCa-Mg-Zn-O2混合プラズマの生成
〇佐藤 直幸1、ﾃｨﾎﾐｰﾙ ｷｭｿﾞﾋﾞｯｸ1、石田 大輝1、保坂 恭平1、山下 薫1 (1.茨城大院理工)
キーワード：
透明導電膜、プラズマプロセス、Ca-Mg-Zn-O2混合プラズマ
誘導結合型放電を用いたZn-O2混合プラズマにより，シート抵抗Rsが1 Ω/□台，平均光透過率が80％以上でITO並のZnO透明導電膜（ZnO-TCF）を合成してきた．他の金属を導入した場合でも同様に金属-酸素混合プラズマの生成と制御が可能であると考え，フルスペクトルTCFを念頭にZnよりも資源が豊富であるアルカリ土類金属の蒸気とプラズマの相互作用を観察している．前回のCa導入に加えてMg蒸気を酸素プラズマへ導入し，Ca-Mg-Zn-O2混合プラズマを生成している．金属酸化物薄膜となるCaOやMgOは一般的に絶縁物であるが，本プラズマプロセス法により化学量論比のずれや元素置換を引き起こすことで，Zn導入がなくとも導電性の発現を期待している.