講演情報
[15p-P12-9]前駆体水溶液を用いた溶液塗布熱分解法による(GaIn)2O3薄膜の作製と紫外線センサー応用
〇(M1C)堀部 彰人1、谷口 佳史1、宮嵜 愛実1、山崎 伊織1、小山 政俊1、廣芝 伸哉1、小池 一歩1 (1.大工大ナノ材研センタ)
キーワード：
酸化ガリウムインジウム、紫外線センサー、溶液塗布熱分解法
約4.9eVのバンドギャップを有する酸化ガリウム（Ga2O3）は深紫外線センサーの候補材料である．これまで我々は塩化ガリウム水溶液をベースとした溶液塗布熱分解法でGa2O3薄膜の作製に成功している．バンドギャップの小さな酸化インジウム（In2O3）との混晶化によってバンドギャップを制御できれば検出波長を選択できる可能性がある．本研究では，溶液塗布熱分解で(GaIn)2O3混晶膜を成膜し，UV-A, -B, -Cの照射による電流応答を調べた結果について報告する．