2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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9:45 〜 10:00
[16a-K101-4]
Si 基板上MoS
2
CVD成長における前駆体/触媒溶液塗布法の検討
〇西村 隆之介
1
、渡辺 健太郎
1,2
(1.信州大学、2.信州大学IFES)
キーワード:
二硫化モリブデン、化学気相成長法、選択成長
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