講演情報

[16a-K101-4]Si 基板上MoS2 CVD成長における前駆体/触媒溶液塗布法の検討

〇西村 隆之介1、渡辺 健太郎1,2 (1.信州大学、2.信州大学IFES)

キーワード:

二硫化モリブデン、化学気相成長法、選択成長