[16a-K101-1~11] 17.3 層状物質

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[16a-K101-5] 低温薄膜 MoS₂膜成膜に向けた低粒子フラックススパッタリング

〇今井 慎也¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、辰巳 哲也¹、冨谷 茂隆¹、若林 整¹ (1.東京科学大学)

キーワード：

二硫化モリブデン、スパッタリング