講演情報
[16a-K103-6]選択成長による単結晶AlN自立膜を伝搬するLamb波の観測
〇木村 俊1、下地 規之1、合田 賢司1、天本 百合奈1、内貴 崇1、照元 幸次1、奥 良彰1 (1.ローム（株）)
キーワード：
圧電MEMS、弾性波共振器、AlN
我々は次世代通信システムへ向けた、高周波化の要求を満たす弾性波共振子を開発している。Si基板上酸化膜マスク開口領域でMOCVD法により成長させた単結晶ＡｌＮ薄膜の自立構造を有する共振子の試作と、本デバイスにおいてLamb波の伝搬による高い周波数の共振を実証することを目的とした実験を行った。試作デバイスの共振周波数に関してAlN膜厚依存性、波長依存性を評価し、得られた信号がLamb波と同等の性質を持つことを示した。