講演情報
[16a-K103-7]レーザー励起光電子顕微鏡で可視化したフォトレジスト上の潜像と電場分布
〇藤原 弘和1,2、Bareille Cédric3、大川 万里生3、谷内 敏之1,2 (1.東大院新領域、2.東大MIRC、3.東大物性研)
キーワード：
フォトリソグラフィ、光電子顕微鏡、潜像
潜像は露光により形成される化学的パターンであり、通常は現像後に検査される。本研究では、レーザー励起光電子顕微鏡を用いて、フォトレジストの潜像を可視化することを試みた。露光量増加により顕微像中の潜像コントラストが向上することを明らかにした。さらに、露光箇所が正帯電していることを発見した。本成果は、露光時に発生する二次電子の動的振る舞いの理解につながるものと期待される。