2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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10:30 〜 10:45
[16a-K202-4]
Rudense
®
材料の酸化物表面上の室温飽和吸着・酸化特性
〇洲崎 慧
1
、鈴木 晴登
2
、宮澤 諒
2
、山本 有紀
3
、尾池 浩幸
3
、海老原 良介
3
、池村 周也
3
、後藤 玄
3
、岩永 宏平
3
、廣瀬 文彦
2
(1.山形大工、2.山形大院理工、3.東ソー)
キーワード：
酸化ルテニウム、原子層堆積法
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