[16a-K207-1~10] 17.2 グラフェン

9:30 〜 9:45

[16a-K207-3] Type-II超格子/グラフェンダイオード型赤外線検出器への界面層の導入

〇福島 昌一郎¹、嶋谷 政彰¹、岩川 学¹、小川 新平¹ (1.三菱電機（株）)

キーワード：

グラフェン、T2SL、赤外

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器の高感度化検討を行ってきた。これまでに、Type-II超格子 (T2SL) 構造上にグラフェン電界効果トランジスタ及びダイオードを形成し、中・長波長赤外光を高感度に検出可能であることを示した。本研究ではさらなる性能向上を目指してグラフェンとT2SL構造の界面にHfO₂界面層を導入した結果について報告する。中波長赤外線への応答特性を 比較することで、HfO₂界面層の検出性能への影響と、最適な膜厚を求め界面層の有効性を実証した。