[16a-K209-1~11] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびディジタル応用

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[16a-K209-10] 超伝導Nb共振器Q値改善に向けたNb自然酸化膜のフッ化処理

〇(M1)青山 大和¹、大堀 大介¹、藤田 裕一²、浦出 芳郎²、猪股 邦宏²、水林 亘²、遠藤 和彦¹ (1.東北大流体研、2.産総研)

キーワード：

Nb、フッ化、ドライプロセス