[16a-K403-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[16a-K403-1] DLC膜高速形成フィルタードアーク蒸着装置における陰極点駆動

〇佐野 絃貴¹、佐野 春¹、渡辺 聖也¹、大根田 みらの¹、滝川 浩史¹、杉田 博昭²、服部 貴大²、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)

キーワード：

真空アーク蒸着、ダイヤモンドライクカーボン

炭素陰極は金属陰極と比べ駆動速度が遅く，磁気振動が困難である。陰極点の駆動位置は，陰極表面で垂直方向磁束密度Bzがゼロとなる付近とされている。本研究では，コイル陽極を備えた直線型フィルタードアーク蒸着装置（HR-FAD: type carbon）において，陰極点の駆動を可能にする磁界構成を検討した。その結果，適切な磁界構成により陰極点の駆動が確認され，効率的かつ安定的な陰極利用が実現可能である可能性が示唆された。