[16a-K403-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

10:45 〜 11:00

[16a-K403-5] 大電力パルススパッタリングを用いたDLC成膜におけるSi添加効果

〇太田 貴之¹、三輪 侑生¹、小田 昭紀²、針谷 達³、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：

大電力パルススパッタリング、ダイヤモンドライクカーボン