[16a-K403-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

11:00 〜 11:15

[16a-K403-6] 圧力勾配式スパッタ法を用いて作製したアモルファス窒化炭素薄膜における成膜圧力と投入電力の影響

高木 康平¹、神谷 和奏¹、島 宏美²、森本 貴明³、〇青野 祐美¹ (1.鹿児島大学、2.防衛大通信、3.防衛大機能材料)

キーワード：

アモルファス、炭素、窒化

反応性高周波マグネトロンスパッタ法で作製されるアモルファス窒化炭素（a-CN_x）薄膜において、可視光を照射したとき形状が変化する光誘起変形が見られる。この光誘起変形は可視光照射下でのみ生じる可逆性の現象であるが、その起源はまだ十分に解明されていない。そこで本研究では、チャンバー内に圧力勾配を生じることのできる装置を用いて、これまでとは異なる性質のa-CN_x薄膜の作製を試み、その基礎物性および光誘起変形の有無について調べた。