講演情報
[16a-K502-8]真空蒸着法で成膜したTlBr多結晶膜の結晶粒径と検出特性の評価
〇豊田 耕平1,2、西澤 潤一1,3、都木 克之2,3、加瀬 裕貴3、青木 徹3,2,1 (1.静岡大院光医工、2.ANSeeN、3.静岡大電子研)
キーワード:
半導体検出器、臭化タリウム、真空蒸着
臭化タリウム (TlBr) はX線・γ線に対して高い吸収効率を示す半導体材料である。TlBrは蒸気圧が低く、抵抗加熱真空蒸着による薄膜の形成が可能であり、大面積を必要とするX線画像検出器に適している可能性がある。本研究では、蒸着条件を変化させたときのTlBr多結晶膜の結晶粒径を評価した。また、半導体検出器の物性を調べる方法として、吸収能とエネルギーが大きくパルス検出ができる可能性の高い241Am α線のパルス検出評価を行った。