2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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10:45 〜 11:00
[16a-K508-7]
ハイブリッド接合への応用に向けたSiCN膜の接合メカニズム解明
〇山本 泰輔
1
、北川 颯人
1
、佐藤 亮輔
1
、蛯子 颯大
1
、坂田 智裕
2
、井上 史大
1
(1.横浜国大、2.東レリサーチセンター)
キーワード：
ハイブリッド接合
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