[16a-K508-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

11:00 〜 11:15

[16a-K508-8] プラズマ活性化による表面改質とウエハ接合時の挙動解析

〇尾形 崚太¹、佐藤 亮輔¹、北川 颯人¹、蛯子 颯大¹、井上 史大¹ (1.横浜国大)

キーワード：

ハイブリッド接合、ボンドウェーブ