講演情報
[16a-P06-1]鏡面対称性を持たないヘテロ構造ナノ共振器のQ値ばらつき
〇(B)金丸 優太1、浅野 卓2、石原 歩3、髙濵 渉3、野田 進2、高橋 和3 (1.大阪府大工、2.京大院工、3.大阪公大院工)
キーワード：
シリコンナノ共振器、機械学習、高Q値ナノ共振器
我々は、フォトニック結晶ナノ共振器の高Q値化に取り組み，ヘテロ構造で実験Q値1100万を達成した．応用上重要なQ値ばらつきを抑制するため，空気孔揺らぎに強い共振器の設計を行った．従来の対称設計と比較して，非対称共振器では位置揺らぎに対するQ値ばらつきが20％抑制されることを確認した．本研究では，鏡面対称性を持たないマルチヘテロ構造共振器のQ値ばらつきをシミュレーションで調べたので報告する．