講演情報
[16a-P07-9]プラズモニックナノギャップを用いた相変化光変調素子
〇加藤 颯1、牧野 孝太郎2、久保 敦1 (1.筑波大数理物質、2.産総研)
キーワード：
微小光デバイス、プラズモニクス、相変化材料
本研究では、金属-絶縁体-金属(MIM)構造に相変化材料Ge2Sb2Te5(GST)を組み込み、光通信波長1.55 μmで高消光比を有するプラズモニック変調素子の設計と開発を行った。FDTDシミュレーションでGSTのサイズを長軸化、薄膜化することにより消光比13.9 dBを達成し、実験ではSOI基板上にSi導波路を作成、レーザー光を試料表面に集光することでカプラーによる光の入出力が示された。