[16a-Y1311-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:15 〜 11:30

[16a-Y1311-9] ZnO膜におけるN添加と酸素アニールの影響

〇山田 祐美加^1,2、大森 陽生²、舩木 修平²、山田 容士² (1.コベルコ科研、2.島根大自然)

キーワード：

酸化亜鉛、スパッタリング成膜、透明導電膜