講演情報
[16p-K102-4]スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）
〇孝橋 照生1 (1.日立)
キーワード：
磁区、スピン偏極、SEM
スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）は，磁性体試料の内部の電子を2次電子として取り出し，そのスピン偏極度を検出することにより，磁性体の表面磁化分布を可視化する装置である．高い空間分解能（数nm）や磁化ベクトルの3次元解析などの特長を有し、様々な磁性材料やデバイスを観察対象として発展してきた。本講演ではスピンSEMの原理や構造、応用例などを、最近の進展を踏まえて解説する。