[16p-K202-1~12] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術

16:30 〜 16:45

[16p-K202-10] アルカリ金属回収のためのアルミニウムシリケート薄膜の試作と評価

〇竹田 響綺¹、宮澤 諒¹、鈴木 晴登¹、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工)

キーワード：

原子層堆積法、アルミニウムシリケート