[16p-K202-1~12] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術

16:45 〜 17:00

[16p-K202-11] CCTBA原料を用いたCo-ALDの初期核発生過程評価

〇玉置 直樹¹、鄧 玉斌¹、山口 潤¹、佐藤 登¹、筑根 敦弘¹、霜垣 幸浩¹ (1.東大院工)

キーワード：

選択ALD、初期核