[16p-K202-1~12] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術

17:00 〜 17:15英語発表

[16p-K202-12] Study of Pd activation effect on the Co-ALD process

〇(P)Yubin DENG¹, Jun Yamaguchi¹, Yuhei Otaka¹, Naoki Tamaoki¹, Atsuhiro Tsukune¹, Yukihiro Shimogaki¹ (1.The Univ. of Tokyo)

キーワード：

Pd activation、Nucleation、ALD