[16p-K209-1~16] 11.4 アナログ応用および関連技術

14:00 〜 14:15

[16p-K209-3] 6μm波長帯用超伝導ナノストリップ単一光子検出器の評価

〇三木 茂人¹、美馬 覚¹、知名 史博²、藪野 正裕¹、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.産総研)

キーワード：

超伝導ナノストリップ単一光子検出器、光子検出器、超伝導検出器

6μm波長帯に最適化された膜厚を有する熱酸化膜付きSi基板を用いたNbTiN-SNSPD素子の作製および性能評価を行ったので報告する。