[16p-K301-1~13] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

16:30 〜 16:45

[16p-K301-10] 低BPD密度ウェハによるバイポーラ劣化の抑制

〇(P)Zhang Endong¹、稲吉 晴子²、杉山 智彦²、松島 潔²、吉川 潤²、加藤 正史¹ (1.名工大、2.日本ガイシ(株))

キーワード：

バイポーラ劣化